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發(fā)布時間:2016-12-14
潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。
空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
氣閘室 air lock
設置在潔凈室出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。
潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
空態(tài) as-built
設施已經(jīng)建成,所有動力接通并運行,但無生產(chǎn)設備、材料及人員。
靜態(tài) at-rest
設施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應商同意的狀態(tài)運行,但無生產(chǎn)人員。
動態(tài) operational
設施以規(guī)定的狀態(tài)運行,有規(guī)定的人員在場,并在商定的狀況下進行工作。
檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。
高效空氣過濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter)
在額定風量下,對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
超高效空氣過濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter)
在額定風量下,對粒徑0.1~0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。
純水 purity water
對電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均有要求的水。
防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后易于消散或消除,靜電噪聲難以傳播。
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